​ CNC精密（mì）零配件加工的特點

     超（chāo）精密（mì）零配件加工方法的特（tè）點是對外表層物質去除或添加的量能夠作極細微的控製。但是要（yào）獲得cnc超精密零（líng）件加工精度，仍有賴於精密的加工設備和準確的克製係統，並采用超精密掩膜作中介物。例如超大規模集成電路的製版即使采用電（diàn）子束對掩膜上的光致抗蝕劑（jì）（見（jiàn）光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子（zǐ）在電子撞擊（jī）下直接聚（jù）合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，製成掩（yǎn）膜。電子束曝射製版必要采用（yòng）工作台定位（wèi）精度高達±0.01微（wēi）米的超精密（mì）加工設備。

    超精密零（líng）配件（jiàn）加工，主要（yào）有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車床上用通過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅（jǐn）1微米左右，常用於加工有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如（rú）加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度（dù）可達0.1微米，外表粗糙度（dù）為Rz0.05微米。

     超精密（mì）零配（pèi）件加工精度以納米，甚（shèn）至後以原子單位（wèi）(原子晶格距離為（wéi）0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零配件加工的方法（fǎ），即應用（yòng）化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合能，從而去（qù）除工件外表的部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到（dào）超精密加工（gōng）的目的。屬於這類加工的有機械化學拋光（guāng）、離子濺（jiàn）射和離子注入（rù）、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和（hé）分子束外延等。